1、    主要适用于实验、科研、医学及小规模的生产领域。

2、    特点：成本低，整机机械、电气结构简单、实用，易维护。

3、    控制方式：手动或自动控制模式，利用各简单元器件的巧妙组合成自动控制体系，各参数调整好后，一键完成整个清洗工艺。

4、    电源功率、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数可设置。

5、    射频电源手动匹配（自主研发的全固态晶体管输出型）

6、    浮子精密气体流量计、针阀等控制工艺气体流量。

7、    清洗完成有提示音

8、    反射功率过大报警

9、    工艺气体耗尽报警

10、泵热过载报警

11、反应仓泄漏报警

12、电极采用高通量等离子结构，牢固可靠易拆卸。

13、反应仓为矩形不锈钢腔体，水平电极板放置，间距可调。

14、真空泵采用双腔式旋片泵，极限真空度可达2Pa以下，一般采用外置。

15、真空泵可选配液位低报警装置